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鎢燈絲掃描電子顯微鏡
SEM3100
SEM3100具有出色的成像質(zhì)量和豐富的擴(kuò)展性，將鎢燈絲掃描電子顯微鏡的可用性、易用性發(fā)揮到極大。分辨率可達(dá)3 nm，超大樣品倉，可容納最大直徑為370mm的樣品，以及諸多細(xì)節(jié)功能設(shè)計(jì)和特色功能，助您在顯微成像的世界中盡情探索。
高性能高指標(biāo)
SEM3100是一款高性能的掃描電子顯微鏡，擁有超高的分辨率和出色的成像質(zhì)量。放大倍率連續(xù)可調(diào)，在不同的視場(chǎng)范圍下均可得到高亮度的清晰圖像。大景深，成像富有立體感。配備的超大樣品倉和低電壓模式，極大地?cái)U(kuò)展了SEM3100的應(yīng)用范圍。
豐富的擴(kuò)展性
掃描電子顯微鏡不只用于表面形貌的觀察，還可以進(jìn)行樣品表面的微區(qū)成分分析。SEM3100擁有超大的樣品倉，接口豐富，除支持常規(guī)的二次電子探測(cè)器（ETD）、背散射電子探測(cè)器（BSED）、能譜儀（EDS）外，也預(yù)留了諸多接口，諸如電子背散射衍射（EBSD）、波譜儀（WDS）、陰極熒光（CL）等探測(cè)器都可以在SEM3100上進(jìn)行集成。
背散射探測(cè)器
二次電子成像和背散射成像對(duì)比。背散射像下，樣品的荷電效應(yīng)明顯減弱，并且具有很好的成分襯度，適合進(jìn)行成分觀察。
能譜分析
水泥建筑材料SE和EDS分析結(jié)果，加速電壓15 kV
*微量Au元素為噴金后的鍍層
特色功能，更高的效率和更好的性能
光學(xué)導(dǎo)航
SEM3100標(biāo)配的倉內(nèi)攝像頭可拍攝高清樣品臺(tái)照片，助您快速定位樣品。
旋鈕控制板和鼠標(biāo)手勢(shì)
可通過旋鈕控制板或鼠標(biāo)滾輪/手勢(shì)快速調(diào)節(jié)聚焦和像散等參數(shù)，極大地提高成像效率。
動(dòng)態(tài)像散
直觀反映像散程度，通過鼠標(biāo)點(diǎn)擊即可快速調(diào)節(jié)像散至最佳。
動(dòng)態(tài)圖
結(jié)果圖
快速調(diào)節(jié)圖像旋轉(zhuǎn)
拖動(dòng)一條線，圖像立刻“擺正角度"。
動(dòng)態(tài)圖
結(jié)果圖
電子光學(xué)系統(tǒng)
分辨率 3 nm @ 30 kV
放大倍率 1 x~300,000 x
加速電壓 1 kV~30 kV
電子槍類型 預(yù)對(duì)中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍
成像系統(tǒng)
探測(cè)器（標(biāo)配） 二次電子探測(cè)器 (ETD)
探測(cè)器（選配） 背散射電子探測(cè)器、能譜儀EDS等
圖像尺寸 ≤ 6144 x 4096 像素
圖像保存格式 TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室
控制方式 全自動(dòng)閥
渦輪分子泵 240 L/S
機(jī)械泵 12 m3/h(50 Hz)
攝像頭 光學(xué)導(dǎo)航 樣品倉內(nèi)監(jiān)控
樣品室真空度 高真空下優(yōu)于9 X 10-4 Pa
樣品臺(tái)配置 三軸自動(dòng)(標(biāo)配) 五軸自動(dòng)(選配)
